Intelligente Gassensoren
Projektleitung und Mitarbeiter
Goepel, W. (Prof. Dr. rer. nat.), Schierbaum, K.-D. (Dr. rer. nat.), Weimar,
U. (Dipl. Phys.), gemeinsam mit: Steiner, K. (Dr. rer. nat.,
Fraunhofer-Inst. f. Physikal. Messtechn., Freiburg)
Forschungsbericht :
1990-1992
Tel./ Fax.:
Projektbeschreibung
Prototypen chemischer Sensoren werden in Duennschichttechnologie hergestellt. Sie
werden auf Standard-Duennschichtsubstraten mit integrierter Heizung
und Temperaturmessung durch physikalisches oder chemisches Abscheiden
sensitiver anorganischer und organischer Schichten
hergestellt. Messprinzipien zum selektiven Nachweis von NOx, CO, CH4,
O2 und H2O in Luft basieren auf Aenderungen der elektronischen
Leitfaehigkeit, der nichtlinearen Diodencharakteristik und der
Kapazitaet der sensitiven Schichten waehrend der
Sensor-Teilchen-Wechselwirkung. Durch Anwendung von
Mustererkennungsverfahren bei der Auswertung von Signalen aus
Sensor-Arrays soll der quantitative Nachweis von Einzelkomponenten in
Gasgemischen selektiv erfolgen.
Mittelgeber
Drittmittelfinanzierung: BMFT
Publikationen
Schierbaum K. D., Weimar, U., Goepel, W.: Comparison of ceramic, thick
film, and thin film chemical sensors based upon SnO2. - Sensors
Actuat. A31, 326 (1992).
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- Stand: 15.09.96
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